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获奖编号:
获奖名称: 扫描电声显微镜及其相关器件和材料
获奖名称英文:
登记人:
登记人英文:
开始日期:
结束日期:
获奖题目:
获奖题目英文:
成果介绍英文:
主要完成人: 殷庆瑞
主要完成人英文:
完成单位:
完成单位英文:
获奖类别: 国家技术发明二等奖
获奖等级:
获奖时间: 2005
授奖部门: 国务院
成果介绍:

  项目所属科学技术领域、主要技术内容、技术经济指标及应用推广情况本项目属仪器仪表科学技术领域。

  扫描电声显微镜(SEAM)是由电子光学、电声和压电传感、弱信号检测、图像处理以及计算机等多项高新技术构成的一种高分辨率声学显微成像仪器;本项目还研制了多参量可控的样品台和控制仪组成的复合结构电声信号传感器;电声信号敏感元件以及作为电声信号传感器敏感元件的大尺寸、高性能铌镁酸铅(PMN-PT)晶体材料、创建了三维电声成像理论,阐明了电声成像的衬度机理和近场成像的物理本质。扫描电声显微镜兼具电子显微术高分辨率和声学显微术非破坏性内部成像的特点,可原位同时观察电子显微像和声学显微像。在此基础上,又拓展了电声成像技术在原子力显微镜上的应用,建立了低频高分辨率扫描探针声学显微成像技术(SPAM)。SEAM 建立了常规电子显微术和探针显微术所不具备的功能。系统的横向分辨率≤ 0.19μm, 纵向分辨率≤ 90nm。本项目把仪器研制、器件设计、材料(元件)制备、理论分析和实际应用紧密结合,取得了拥有自主知识产权的三项国家发明专利和一项国外发明专利。

  本项研究建立的扫描电声显微镜促进了国家“863”计划项目、重大基金项目和“973”项目中相关课题的顺利完成,在金属材料、半导体材料、无机材料等领域获得了实际的应用,取得了一系列在国际上首次报导的结果,推动了新材料和显微成像技术的发展,显示了扫描声学显微成像技术在信息产生、信息检测和信息显示方面的独特优点。电声显微镜及其相关器件和材料已装备国内有关大学、研究所和工业部门使用,并已出口到美国、德国、日本、荷兰、新加坡、台湾等国家和地区,取得了一定的经济效益和良好的社会效益。被誉为“我国大型科学仪器出口到发达国家和地区的成功范例” [请见其它证明(2)-j]。现已分别与新加坡扫描束技术公司(Scanning Beam Technology Pte. Ltd.),北京中科科仪技术发展有限责任公司,以及意力博通技术发展有限公司签订了开发扫描声学显微成像技术市场的协议,其应用和市场前景广阔。

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