刘学超,男,1981年生,博士,研究员,博士生导师。2003年毕业于同济大学,获学士学位;2008年毕业于中国科学院上海硅酸盐研究所,获博士学位;2008年至2010年在英国华威大学(University of Warwick)物理系任Research Fellow;2011年至今在中科院上海硅酸盐所工作,2016年1月起担任上海硅酸盐所人工晶体研究中心副主任,2020年8月起担任上海硅酸盐所人工晶体研究中心主任。主要从事宽禁带半导体晶体生长、薄膜制备与相关器件方面的研究;空间晶体材料研究。
截止2020年,作为项目负责人共承担(含完成)科研项目10余项。在Applied Physics Letters、Journal of Applied Physics、Journal of Crystal Growth等国内外学术刊物上发表学术论文100余篇。申请(含授权)发明专利30余项,并荣获多项奖励和荣誉,主要包括:
- 2015年:上海嘉定区菊园新区“十大创新创业先锋青年”
- 2013年:上海市“青年科技启明星”
- 2012年:上海市嘉定区“青年领军人才”
- 2012年:上海硅酸盐研究所“青年才俊”
- 2011年:中科院“青年创新促进会”青年人才计划
- 2011年:中科院上海硅酸盐研究所引进人才计划
研究方向:
- 宽禁带半导体材料与器件
- 稀磁半导体薄膜与自旋电子器件
- 新型超宽禁带半导体晶体
- 空间晶体材料
代表论文(*为通讯作者)
- Tixiang Xu, Xuechao Liu*, Shiyi Zhuo, Wei Huang, Pan Gao, Jun Xin, Ewei Shi, Effect of thermal annealing on the defects and electrical properties of semi-insulating 6H-SiC, Journal of Crystal Growth, 531, 125399 (2020).
- Shi-Yi Zhuo, Xue-Chao Liu*, Wei Huang, Hai-Kuan Kong, Jun Xin, Er-Wei Shi, Photoluminescence adjustment by B, Al, and N ternary dopants in fluorescent 4H-SiC single crystals. Chine Physics B, 28(1), 017101-017105 (2019).
- Shiyi Zhuo, Xue-Chao Liu*, Wei Huang, Hai-Kuan Kong, Jun Xin, and Er-Wei Shi, Photoluminescence properties of N and B codoped fluorescent 4H-SiC and 6H-SiC single crystals. AIP Advances, 8, 125001-125007 (2018).
- Shi-Yi Zhuo, Xue-Chao Liu*, Ting-Xiang Xu, Cheng-Feng Yan, Er-Wei Shi, Strong correlation between B-Al-N doping concentration fluctuation and photoluminescence effects of f-SiC. AIP Advances, 8, 075130-075136 (2018)
- Hua-Jie Wang, Xue-Chao Liu*, Jun Xin, Hai-Kuan Kong, Pan Gao, Er-Wei Shi, Porous AlN with a Low Dielectric Constant Synthesized Based on the Physical Vapor Transport Principle, Journal of Electronic Materials, 1-5 (2016).
- Ren-Wei Zhou, Xue-Chao Liu*, Fei Li, Er-Wei Shi, Defects Induced Ferromagnetism in Hydrogen Irradiated 3C-SiC Thin Films, Materials Letters, 156, 54-57 (2015).
- Ren-Wei Zhou, Xue-Chao Liu*, Hua-Jie Wang, Wei-Bin Chen, Fei Li, Shi-Yi Zhuo, Er-Wei Shi, Ferromagnetism in proton irradiated 4H-SiC single crystal, AIP Advance, 5, 047146 (2015).
- Fei Li, Xue-Chao Liu *, Ren-Wei Zhou, Hong-Ming Chen, Shi-Yi Zhuo, and Er-Wei Shi, Strong correlation between oxygen vacancy and ferromagnetism in Yb-doped ZnO thin films, Journal of Applied Physics, 116, 243910 (2014).
- Tian-Yu Zhou, Xue-Chao Liu*, Chong-Chong Dai, Wei Huang, Shi-Yi Zhuo, Er-Wei Shi, , Materials Sciences and Engineering B, 188, 59-65 (2014).
- Chong-Chong Dai, Xue-Chao Liu*, Tian-Yu Zhou, Shi-Yi Zhuo, Hai-Kuan Kong, Jian-Hua Yang and Er-Wei Shi, Effect of annealing temperature on the contact properties of Ni/V/4H-SiC, AIP Advance, 4, 047125-047131 (2014).
- Ze Xiong, Xue-Chao Liu*, Shi-Yi Zhuo, Jian-Hua Yang, Er-Wei Shi, Wen-Sheng Yan, Shu-De Yao, Hui-Ping Pan, Influence of Ga doping on the Cr valence state and ferromagnetism in Cr: ZnO films. Appl. Phys. Lett. 102, 022414 (2013).
- Hong-Ming Chen, Xue-Chao Liu *, Shi-Yi Zhuo, Ze Xiong, Jian-Hua Yang, Er-Wei Shi, The dual effects of Al-doping on the ferromagnetism of Zn0.98-yEr0.02AlyO thin films, AIP Advance, 3, 082121 (2013).
- Biao Shi, Xue-Chao Liu*, Ming-Xing Zhu, Jian-Hua Yang, Er-Wei Shi, Effect of propane/silane ratio on the growth of 3C-SiC thin films on Si (100) substrates by APCVD, Applied Surface Sciences, 259, 685-690 (2012).
- Ming-Xing Zhu, Biao Shi, Yi Chen, Xue-Chao Liu*, Jian-Hua Yang, Er-Wei Shi, Influence of surface bow on reconstruction of 2-inch-SiC (0001) wafer, J. Appl. Phys. 111, 023516 (2012).
- Ze Xiong, Xue-Chao Liu*, Shi-Yi Zhuo, Jian-Hua Yang, Er-Wei Shi, Oxygen enhanced ferromagnetism in Cr-doped ZnO films. Appl. Phys. Lett. 99, 052513-052515 (2011).
- Xue-Chao Liu, M. Myronov, A. Dobbie, et.al. High quality Ge/Si0.4Ge0.6 multiple quantum wells for photonic application: growth by reduced pressure chemical vapor deposition and structural characteristics. J. Phys. D: Appl. Phys. 44, 055102 (2011).
- Xue-Chao Liu, Zhi-Zhan Chen, Er-Wei Shi, et.al. Structural, optical and electrical properties of Ga-doped and (Ga, Co)-codoped ZnO films. J. Cryst. Growth 312, 2817 (2010).
- Xue-Chao Liu, Er-Wei Shi, Zhi-Zhan Chen, et.al. Charge transfer properties and effect of donor localization on the magnetic properties in Zn-Co-O system. Appl. Phys. Lett. 92, 042502 (2008).
- Xue-Chao Liu, Er-Wei Shi, Zhi-Zhan Chen,et.al. Effect of oxygen partial pressure on the local structure and magnetic properties of Co-doped ZnO films. J. Phys.: Condens. Matter 20, 025208 (2008).
- Xue-Chao Liu, Er-Wei Shi, Zhi-Zhan Chen, et. al. High-temperature ferromagnetism in (Co, Al)-codoped ZnO. Appl. Phys. Lett. 88, 252503 (2006).
主要负责项目情况:
序号
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项目名称
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项目来源
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起止时间
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角色
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1
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大尺寸低缺陷低电阻率碳化硅单晶制备技术研究
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国家重点研发计划
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2016.07-2021.06
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课题负责人
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2
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高纯SiC衬底制备与离子束剥离研究
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上海市科委项目
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2017.07-2020.06
|
项目负责人
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3
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大功率GaN器件用大尺寸SiC衬底制备及外延技术研究
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国家863计划
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2014.01-2016.12
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课题负责人
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4
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新型高功率纳米器件关键材料
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中科院STS项目
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2014.07-2017.06
|
项目负责人
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5
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XXX材料研制
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中科院重大研究计划
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2012.07-2016.06
|
项目负责人
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6
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非磁性离子掺杂ZnO薄膜与磁性机理
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上海市“启明星”项目
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2013.10-2015.09
|
项目负责人
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7
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高性能碳化硅光导开关的研制及应用研究
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中科院重要方向项目
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2011.01-2015.12
|
项目负责人
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8
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3 - 4英寸SiC晶体衬底研究
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中科院院地合作项目
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2012.01-2014.12
|
项目负责人
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9
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碳化硅生长用高温CVD设备研制
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中科院装备研制项目
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2013.01-2014.12
|
课题负责人
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10
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ZnO基稀磁半导体薄膜反常霍尔效应与电磁输运研究
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国家自然科学基金
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2011.01-2013.12
|
项目负责人
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主要参与项目情况:
序号
|
项目名称
|
项目来源
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起止时间
|
角色
|
1
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大尺寸碳化硅单晶衬底成套技术产业化
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中科院STS项目
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2019.01-2021.12
|
参与
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2
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双室结构型碳化硅单晶炉研制及工艺开发
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国家重大科技专项(02专项)
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2009.01-2013.06
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参与
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3
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碳化硅衬底材料与器件的集成计算材料工程
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国家863计划
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2013.01-2015.12
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参与
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4
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第三代宽禁带半导体SiC衬底与外延制备
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江苏省产学研项目
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2012.01-2014.12
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参与
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