气囊式晶片粘结助压手柄--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

气囊式晶片粘结助压手柄

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201511006393.8

申请日期:

第一发明人:

卓世异

其他发明人:

黄维、王乐星30陈辉、庄击勇、刘学超、施尔畏

专利授权日期: