一种介电常数可调中低介电常数氮化硅陶瓷及其制备方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种介电常数可调中低介电常数氮化硅陶瓷及其制备方法

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201611168857.X

申请日期:

第一发明人:

曾宇平

其他发明人:

梁汉琴,左开慧,夏咏锋,姚冬旭,尹金伟

专利授权日期:

20200814