一种柔性基板原子氧防护层的生产线--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种柔性基板原子氧防护层的生产线

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201710561510.X

申请日期:

第一发明人:

谷红宇

其他发明人:

齐振一,宋力昕,张锦麟,张涛

专利授权日期:

20200317